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        半導體行業光刻機機臺的振動問題-Viber X5

        應用案例/Case

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        半導體行業光刻機機臺的振動問題-Viber X5

        高端光刻機是世界上最精密的儀器,對振動的要求非常高。
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        產品描述

        光刻機一般分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,精度為七納米至幾微米之間,高端光刻機是世界上最精密的儀器,對振動的要求非常高。瑞典VMI viber-x5振動分析儀所采用的振動標準為VC微振動標準,VC微振動標準分為:VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。對于潔凈室的光刻機設備的振動要求機臺振動必須滿足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球最知名的光刻機制造商荷蘭ASML要求潔凈室的樓板及機臺振動必須符合VC-D標準才能實施裝機,某知名半導體制造商使用瑞典VMI viber-x5振動分析儀進行潔凈室的現場數據采集,發現潔凈室樓板的振幅只能滿足VC-C12.5um/s RMS,無法滿足CV-D 6.25um/s RMS。通過瑞典VMI viber-x5振動分析儀的頻譜分析功能,發現了振動超標的頻率并成功找到振動源,經過瑞典VMI振動分析師的協助成功的解決了潔凈室樓板振動。

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